RSM चे तांत्रिक सल्लागार तुम्हाला दंडगोलाकार आणि प्लॅनर मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग लक्ष्यांचे फायदे सांगतील?इतर मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग लक्ष्यांच्या तुलनेत, दंडगोलाकार आणि प्लॅनर मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग लक्ष्य आयताकृती प्लॅनर लक्ष्यांच्या चांगल्या कोटिंग समानतेचे फायदे राखून ठेवतात आणि पुढील दोन मार्गांनी लक्ष्यांचा जास्तीत जास्त वापर करू शकतात:
(१) जेव्हा लक्ष्याच्या पृष्ठभागावरील कंकणाकृती खड्ड्यांचे दोन गट (चार) विशिष्ट खोलीपर्यंत पोहोचतात, तेव्हा लक्ष्य कोर (चुंबक भाग) लक्ष्य ट्यूबच्या सापेक्ष 45° फिरवता येतो, जेणेकरून लक्ष्य ट्यूबवरील इतर भाग जे गंजलेले नाहीत ते वापरले जाऊ शकतात;
(२) जेव्हा दंडगोलाकार आणि प्लॅनर मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग टार्गेटचा टार्गेट कोअर रोटेटिंग टार्गेट कोअर म्हणून डिझाइन केला जातो (टारगेट कोअर स्पटरिंग दरम्यान फिरत असतो), तेव्हा टार्गेटच्या पृष्ठभागावर खड्ड्यांशिवाय थर थराने समान रीतीने स्पटरिंग केले जाऊ शकते.यावेळी, लक्ष्य सर्वात प्रभावीपणे वापरले जाईल, आणि लक्ष्याचा वापर दर 50% ~ 60% पर्यंत पोहोचू शकतो जेव्हा लक्ष्य सामग्री मौल्यवान धातू असते, तेव्हा हे स्पष्टपणे खूप महत्वाचे आहे.
शेवटच्या चुंबकीय क्षेत्राच्या समस्येचे निराकरण करण्यासाठी समाक्षीय दंडगोलाकार मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग लक्ष्यामध्ये पोल शूसह चुंबकाचे तत्त्व वापरून, आयताकृती समतल लक्ष्याचे रूपांतर दंडगोलाकार आणि प्लॅनर मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग लक्ष्यात केले जाऊ शकते, लक्ष्य लक्ष्याचा वापर दर वाढवू शकतो. आयताकृती विमान लक्ष्याची चांगली कोटिंग एकसमानता ठेवताना आर्थिक लाभ सुधारण्यासाठी.
पोस्ट वेळ: जुलै-04-2022