मिश्रधातू लक्ष्यांसाठी खबरदारी

1, स्पटरिंग तयारी

व्हॅक्यूम चेंबर, विशेषतः स्पटरिंग सिस्टम स्वच्छ ठेवणे खूप महत्वाचे आहे.वंगण तेल, धूळ आणि आधीच्या कोटिंगमुळे तयार होणारे कोणतेही अवशेष पाण्याची वाफ आणि इतर प्रदूषक गोळा करतील, ज्यामुळे व्हॅक्यूम डिग्रीवर थेट परिणाम होईल आणि फिल्म तयार होण्याची शक्यता वाढेल.शॉर्ट सर्किट किंवा टार्गेट आर्किंग, खडबडीत फिल्म पृष्ठभाग आणि जास्त रासायनिक अशुद्धतेचे प्रमाण अनेकदा अस्वच्छ स्पटरिंग चेंबर, स्पटरिंग गन आणि टार्गेटमुळे होते.कोटिंगच्या रचना वैशिष्ट्यांचे पालन करण्यासाठी, स्पटरिंग गॅस (आर्गॉन किंवा ऑक्सिजन) स्वच्छ आणि कोरडे करणे आवश्यक आहे.स्पटरिंग चेंबरमध्ये सब्सट्रेट स्थापित केल्यानंतर, प्रक्रियेद्वारे आवश्यक व्हॅक्यूमपर्यंत पोहोचण्यासाठी हवा काढणे आवश्यक आहे.गडद भागात संरक्षण आवरण, पोकळीची भिंत आणि समीप पृष्ठभाग देखील स्वच्छ ठेवणे आवश्यक आहे.व्हॅक्यूम चेंबर साफ करताना, आम्ही धूळयुक्त भागांवर उपचार करण्यासाठी काचेच्या बॉल शॉट ब्लास्टिंगचा वापर करून, चेंबरच्या सभोवतालचे लवकर थुंकणारे अवशेष काढून टाकण्यासाठी कॉम्प्रेस्ड हवेसह, आणि नंतर शांतपणे अल्युमिना इंप्रेग्नेटेड सॅंडपेपरने बाह्य पृष्ठभाग पॉलिश करण्याचा सल्ला देतो.कापसाचे किंवा रेशमाचे तलम पारदर्शक कापड कागद पॉलिश केल्यानंतर, तो अल्कोहोल, एसीटोन आणि deionized पाणी साफ आहे.एकत्रितपणे, ते सहायक साफसफाईसाठी औद्योगिक व्हॅक्यूम क्लिनरच्या वापराचे समर्थन करते.गावठाण धातूद्वारे उत्पादित लक्ष्ये व्हॅक्यूम सीलबंद प्लास्टिक पिशव्यांमध्ये पॅक केली जातात,

ओलावा-पुरावा एजंट मध्ये अंगभूत.लक्ष्य वापरताना, कृपया लक्ष्याला थेट हाताने स्पर्श करू नका.टीप: लक्ष्य वापरताना, कृपया स्वच्छ आणि लिंट फ्री देखभालीचे हातमोजे घाला.आपल्या हातांनी लक्ष्याला कधीही स्पर्श करू नका

2, लक्ष्य साफ करणे

लक्ष्य साफसफाईचा उद्देश लक्ष्याच्या पृष्ठभागावर अस्तित्वात असलेली धूळ किंवा घाण काढून टाकणे आहे.

धातूचे लक्ष्य चार चरणांमध्ये साफ केले जाऊ शकते,

पहिली पायरी म्हणजे एसीटोनमध्ये भिजलेल्या लिंट फ्री मऊ कापडाने स्वच्छ करणे;

दुसरी पायरी पहिल्या चरणासारखीच आहे, अल्कोहोलसह साफ करणे;

पायरी 3: डीआयोनाइज्ड पाण्याने स्वच्छ करा.डीआयोनाइज्ड पाण्याने धुतल्यानंतर, लक्ष्य ओव्हनमध्ये ठेवा आणि 30 मिनिटांसाठी 100 ℃ वर कोरडे करा.

ऑक्साईड आणि सिरॅमिक टार्गेट्सची साफसफाई "लिंट फ्री कापड" सह केली जाईल.

चौथी पायरी म्हणजे धूळयुक्त क्षेत्र काढून टाकल्यानंतर उच्च दाब आणि कमी पाण्याच्या वायूने ​​आर्गॉनने टार्गेट धुणे, जेणेकरून थुंकणाऱ्या प्रणालीमध्ये चाप तयार होऊ शकणारे सर्व अशुद्ध कण काढून टाकता येतील.

3, लक्ष्य साधन

टार्गेट इन्स्टॉलेशनच्या प्रक्रियेत, झेड महत्त्वाची खबरदारी म्हणजे टार्गेट आणि स्पटरिंग गनची कूलिंग वॉल यांच्यात चांगला थर्मल वहन कनेक्शन सुनिश्चित करणे.जर कूलिंग स्टॅव्हचे वारपेज गंभीर असेल किंवा मागील प्लेटचे वारपेज गंभीर असेल, तर टार्गेट डिव्हाईस क्रॅक होईल किंवा वाकेल आणि मागील टार्गेटपासून टार्गेटपर्यंतच्या थर्मल कंडॅक्टिव्हिटीवर मोठ्या प्रमाणात परिणाम होईल, परिणामी उष्णता नष्ट होण्यास अपयश येईल. स्पटरिंग प्रक्रियेत, आणि लक्ष्य क्रॅक होईल किंवा चुकते

थर्मल चालकता सुनिश्चित करण्यासाठी, कॅथोड कूलिंग वॉल आणि लक्ष्य दरम्यान ग्रेफाइट पेपरचा एक थर पॅड केला जाऊ शकतो.कृपया O-रिंग नेहमी ठिकाणी असल्याची खात्री करण्यासाठी वापरल्या जाणार्‍या स्पटरिंग गनच्या कूलिंग भिंतीची सपाटता काळजीपूर्वक तपासा आणि स्पष्ट करा.

वापरलेल्या कूलिंग वॉटरची स्वच्छता आणि उपकरणे चालवताना उद्भवू शकणारी धूळ कॅथोड कूलिंग वॉटर टँकमध्ये जमा केली जाणार असल्याने, गुळगुळीत सुनिश्चित करण्यासाठी लक्ष्य स्थापित करताना कॅथोड कूलिंग वॉटर टँक तपासणे आणि स्वच्छ करणे आवश्यक आहे. थंड पाण्याचे अभिसरण आणि इनलेट आणि आउटलेट अवरोधित केले जाणार नाहीत.

काही कॅथोड्सना एनोडसह एक लहान जागा ठेवण्याची योजना आहे, म्हणून लक्ष्य स्थापित करताना, कॅथोड आणि एनोड दरम्यान कोणताही स्पर्श किंवा कंडक्टर नाही याची खात्री करणे आवश्यक आहे, अन्यथा शॉर्ट सर्किट होईल.

लक्ष्य योग्यरित्या कसे चालवायचे याच्या माहितीसाठी उपकरण ऑपरेटरच्या मॅन्युअलचा संदर्भ घ्या.वापरकर्ता मॅन्युअलमध्ये अशी कोणतीही माहिती नसल्यास, कृपया गाओझन मेटलद्वारे प्रदान केलेल्या संबंधित सूचनांनुसार डिव्हाइस स्थापित करण्याचा प्रयत्न करा.लक्ष्य फिक्स्चर घट्ट करताना, प्रथम एक बोल्ट हाताने घट्ट करा आणि नंतर कर्णावर दुसरा बोल्ट हाताने घट्ट करा.डिव्हाइसवरील सर्व बोल्ट घट्ट होईपर्यंत याची पुनरावृत्ती करा आणि नंतर काहीतरी घट्ट करा.

4, शॉर्ट सर्किट आणि घट्टपणा तपासणी

लक्ष्य उपकरण पूर्ण झाल्यानंतर, संपूर्ण कॅथोडचे शॉर्ट सर्किट आणि घट्टपणा तपासणे आवश्यक आहे,

रेझिस्टन्स मीटर वापरून कॅथोडमध्ये शॉर्ट सर्किट आहे की नाही हे ठरवण्याचा प्रस्ताव आहे.

पंक्ती भेदभाव.कॅथोडमध्ये शॉर्ट सर्किट नसल्याची पुष्टी केल्यानंतर, गळती शोधली जाऊ शकते आणि पाण्याची गळती आहे की नाही याची पुष्टी करण्यासाठी कॅथोडमध्ये पाणी दाखल केले जाऊ शकते.

5, टार्गेट प्री स्पटरिंग

टार्गेट प्री स्पटरिंग शुद्ध आर्गॉन स्पटरिंगचे समर्थन करते, जे लक्ष्याची पृष्ठभाग साफ करू शकते.जेव्हा टार्गेट अगोदर थुंकले जाते, तेव्हा हळूहळू स्पटरिंग पॉवर वाढवण्याचा सल्ला दिला जातो आणि सिरॅमिक टार्गेटचा पॉवर वाढीचा दर 1.5WH/cm2 असतो.मेटल टार्गेटची प्री-स्पटरिंग स्पीड सिरेमिक टार्गेट ब्लॉकपेक्षा जास्त असू शकते आणि वाजवी पॉवर वाढीचा दर 1.5WH/cm2 आहे.

प्री-स्पटरिंगच्या प्रक्रियेत, आपल्याला लक्ष्याचे आर्किंग तपासण्याची आवश्यकता आहे.थुंकण्यापूर्वीची वेळ साधारणपणे 10 मिनिटे असते.जर आर्किंगची कोणतीही घटना नसेल तर सतत थुंकण्याची शक्ती वाढवा

सेट शक्ती करण्यासाठी.अनुभवानुसार, मेटल टार्गेटची स्वीकार्य Z उच्च स्पटरिंग पॉवर आहे

सिरॅमिक लक्ष्यासाठी 25watts/cm2, 10watts/cm2.कृपया वापरकर्त्याच्या सिस्टम ऑपरेशन मॅन्युअलमध्ये स्पटरिंग दरम्यान व्हॅक्यूम चेंबर प्रेशरचे सेटिंग आधार आणि अनुभव पहा.साधारणपणे, हे सुनिश्चित केले पाहिजे की कूलिंग वॉटरच्या आउटलेटवरील पाण्याचे तापमान 35 ℃ पेक्षा कमी असावे, परंतु Z हे सुनिश्चित करणे आवश्यक आहे की थंड पाण्याची परिसंचरण प्रणाली प्रभावीपणे कार्य करू शकते.

सुपर कूलिंग पाण्याचे जलद अभिसरण उष्णता काढून टाकते, जे उच्च शक्तीसह सतत थुंकणे सुनिश्चित करण्यासाठी एक महत्त्वपूर्ण हमी आहे.धातूच्या लक्ष्यांसाठी, सामान्यत: थंड पाण्याचा प्रवाह असा सल्ला दिला जातो

20lpm पाण्याचा दाब सुमारे 5gmp आहे;सिरेमिक टार्गेट्ससाठी, साधारणपणे असा सल्ला दिला जातो की पाण्याचा प्रवाह 30lpm आहे आणि पाण्याचा दाब सुमारे 9gmp आहे.

6, लक्ष्य देखभाल

थुंकण्याच्या प्रक्रियेत अशुद्ध पोकळीमुळे होणारे शॉर्ट सर्किट आणि चाप टाळण्यासाठी, स्पटरिंग ट्रॅकच्या मध्यभागी आणि दोन्ही बाजूंना जमा झालेले थुंकणे टप्प्याटप्प्याने काढून टाकणे आवश्यक आहे,

हे वापरकर्त्यांना z उच्च पॉवर घनतेवर सतत थुंकण्यास मदत करते

7, लक्ष्य संचयन

गावठाण धातूद्वारे प्रदान केलेली लक्ष्ये दुहेरी-स्तरीय व्हॅक्यूम प्लास्टिक पिशव्यांमध्ये पॅक केली जातात.आम्ही वकिली करतो की वापरकर्ते लक्ष्य ठेवतात, मग ते धातू किंवा सिरेमिक, व्हॅक्यूम पॅकेजिंगमध्ये ठेवतात.विशेषतः, बाँडिंगच्या गुणवत्तेवर परिणाम होण्यापासून बाँडिंग लेयरच्या ऑक्सिडेशनला प्रतिबंध करण्यासाठी बाँडिंग लक्ष्ये व्हॅक्यूम परिस्थितीत संग्रहित करणे आवश्यक आहे.मेटल टार्गेट्सच्या पॅकेजिंगच्या संदर्भात, आम्ही सल्ला देतो की Z स्वच्छ प्लास्टिकच्या पिशव्यांमध्ये पॅकेज केले पाहिजे