व्हॅक्यूम कोटिंगमध्ये स्पटरिंग टार्गेटची भूमिका काय आहे

स्पटरिंग टार्गेट मटेरियलच्या निवडीमध्ये व्हॅक्यूम प्लेटिंग ही सध्या लोकांसाठी एक समस्या बनली आहे, कारण स्पटरिंग कोटिंग, विशेषत: मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग कौशल्यांचा विकास, कोणत्याही माहितीसाठी असे म्हणता येईल की पातळ फिल्म्सची सामग्री तयार करण्यास सक्षम आहे. आयन बॉम्बर्डमेंटद्वारे, कारण कोटिंगच्या प्रक्रियेत लक्ष्य सामग्रीच्या थराच्या प्रकारात स्पटरिंग केल्याने, स्पटरिंग फिल्मच्या गुणवत्तेवर महत्त्वपूर्ण प्रभाव पडतो, म्हणून, लक्ष्य सामग्री आवश्यकता अधिक कठोर आहेत.बीजिंग रिलॅक्सेशनच्या संपादकासह व्हॅक्यूम कोटिंगमध्ये स्पटरिंग टार्गेटच्या भूमिकेबद्दल आपण येथे शिकू.

一、निवडीचे तत्व आणि लक्ष्य सामग्रीचे वर्गीकरण

लक्ष्य सामग्रीच्या निवडीमध्ये, चित्रपटाच्या वापराव्यतिरिक्त, खालील समस्या देखील विचारात घेतल्या पाहिजेत:

समस्या 1. झिल्लीचा वापर आणि कार्यप्रदर्शन आवश्यकतांनुसार, लक्ष्य सामग्रीसाठी शुद्धता, मासिक सामग्री, घटक एकसमानता, मशीनिंग अचूकता इत्यादी तांत्रिक आवश्यकता पूर्ण करणे आवश्यक आहे.

समस्या 2. चित्रपट तयार झाल्यानंतर लक्ष्य सामग्रीमध्ये चांगली यांत्रिक शक्ती आणि रासायनिक स्थिरता असावी;

समस्या 3. रिऍक्टिव्ह स्पटरिंग फिल्म म्हणून प्रतिक्रिया वायूसह कंपाऊंड फिल्म सहजपणे तयार करणे फिल्म सामग्रीसाठी आवश्यक आहे;

समस्या 4. लक्ष्य आणि मॅट्रिक्स मजबूत असणे आवश्यक आहे, अन्यथा, मॅट्रिक्ससह चांगले आसंजन असलेली फिल्म सामग्री स्वीकारली पाहिजे, प्रथम तळाशी असलेल्या फिल्मचा एक थर थुंकवा आणि नंतर आवश्यक फिल्म स्तर तयार करा;

प्रश्न 5. चित्रपटाच्या कार्यक्षमतेच्या गरजा पूर्ण करण्याच्या आधारावर, लक्ष्याच्या थर्मल विस्तार गुणांक आणि मॅट्रिक्समधील फरक जितका कमी असेल तितका चांगला, ज्यामुळे स्पटरिंग फिल्मच्या थर्मल तणावाचा प्रभाव कमी होईल;

अनेक सामान्यतः वापरल्या जाणार्‍या लक्ष्यांची तयारी

(1) कोटी लक्ष्य

एक sputtering चित्रपट साहित्य म्हणून Chromium फक्त बेस साहित्य एकत्र करणे सोपे नाही आहे उच्च आसंजन, आणि क्रोमियम आणि ऑक्साईड CrQ3 चित्रपट, त्याचे यांत्रिक गुणधर्म, आम्ल प्रतिकार आणि थर्मल स्थिरता अधिक चांगले आहेत.

बीजिंग रुईची हाय-टेक कं, लिमिटेड प्रामुख्याने यात गुंतलेली आहे: टायटॅनियम टार्गेट झिरकोनियम टार्गेट, अॅल्युमिनियम टार्गेट, निकेल टार्गेट, क्रोमियम टार्गेट, टंगस्टन टार्गेट, मॉलिब्डेनम टार्गेट, कॉपर टार्गेट, सिलिकॉन टार्गेट, निओबियम टार्गेट, टॅंटलम टार्गेट, टायटॅनियम-सिलिकॉन मिश्र धातु टार्गेट, टायटॅनियम-निओबियम मिश्र धातु लक्ष्य, टायटॅनियम-टंगस्टन मिश्र धातु लक्ष्य, टायटॅनियम-झिर्कोनियम मिश्र धातु लक्ष्य, निकेल-क्रोमियम मिश्र धातु लक्ष्य, सिलिका-अॅल्युमिनियम मिश्र धातु लक्ष्य, निकेल-व्हॅनेडियम मिश्र धातु लक्ष्य, क्रोमियम-अल्युमिनियम-सिलिकॉन तिरंगी मिश्र धातु लक्ष्य，Ti al si टर्नरी मिश्र धातु लक्ष्य सामग्री, सजावट/कठोर पृष्ठभाग आणि कार्यात्मक कोटिंग, आर्किटेक्चरल ग्लास, फ्लॅट डिस्प्ले/ऑप्टिकल फोटोइलेक्ट्रिक, ऑप्टिकल स्टोरेज, इलेक्ट्रॉनिक्स, प्रिंटिंग आणि इतर व्यवसायांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते.